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方阻測試儀的結(jié)構(gòu)及原理

更新時間:2014-10-14      瀏覽次數(shù):3097

1.KDY1A便攜式電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片的電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

   本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規(guī)定設計。

   它主要由電器測量部份(主機)及四探針頭組成,需要時可加配測試架。

   為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及電阻率。樣品測試電流由高精度的恒流源提供,隨時可進行校準,以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω·cm標準樣片的測量誤差不超過±3%,在此范圍內(nèi)達到國家標準一級機的水平。

 

2、測試儀結(jié)構(gòu)及原理

測試儀主機由主機板、前面板、后背板及機箱組成,數(shù)字表、測試電流換檔開關、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關、校準/測量變換開關以及電流調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、保險管及四探針連接插座。機箱底板上只裝了主機板。前后面板與主機板之間的聯(lián)接均采用接插件,便于拆卸維修。

KDY1A型電阻率測試儀的基本原理是恒流源給探頭1.4探針提供穩(wěn)定的測量電流I,由2、3探針測取被測樣品上的電位差V,

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